現代工業產品生產和現代化科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性，國內外的潔淨工程的發展都是隨著科學工程的發展、工業產品的日新月異，特別是軍事工業、航天、電子和生物醫藥等工業的發展而不斷發展。

    高純度的產品，如生產集成電路所需單晶矽材料，生產光纖所需四敘化矽、四氯化錯材料等已由過去的所謂高純進入“電子純”“超純”，隻有達到如此高的純度才能達到現代集成電路、電子元器件、光纖產品所需的工程特性。要生產如此高純度的產品，就必須達到相應的受控生產環境的空氣潔淨度等級和具有相應高純度的與產品直接接觸的超純水、超純氣體、超純試劑等。基於這種趨勢，潔淨工程的發展已成為現代工業生產和科學實驗活動不可缺少的重要標誌之一。

    20世紀60年代的潔淨工程在美國、歐洲等發達國家順應各行各業產品生產和科學實驗活動的需要得到了廣泛應用，可以認為是潔淨工程的大發展時期。我國的潔淨工程開始於20世紀60年代初，在70年代電子工業潔淨室特別是半導體集成電路用潔淨室的設計、建造發展很快，相繼建成一批潔淨廠房，並研製成功100級單向流潔淨室。

    與此同時，潔淨工程的潔淨廠房用設備和材料，如高效過濾器，潔淨工作台、層流罩、潔淨烘箱、空氣吹淵室、淨化型傳遞窗等相繼研製成功，並投入生產，雖然製造質量和某些工程指標與國際水平尚有差距，但已能滿足國內部分需求。